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● 采用進(jìn)口交叉滾珠導(dǎo)軌，運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)，保證每軸運(yùn)動(dòng)的直線度，無偏擺，俯仰

● Z軸運(yùn)動(dòng)低阻尼設(shè)計(jì)，使用更省力穩(wěn)定.

● 測(cè)微頭驅(qū)動(dòng)，定量讀數(shù),達(dá)到高的調(diào)整精度

● Z方向驅(qū)動(dòng)距離可定制

XYZ位移臺(tái)（XYZ Stege）